分子泵过载故障的主要原因包括以下几种:
1. 颗粒堆积:分子泵在使用过程中会受到气体分子的撞击和吸附,形成颗粒。如果这些颗粒没有及时清理,会逐渐堆积在泵内壁上,导致泵的性能降低,Z终可能导致过载停机。
2. 泵内漏气:分子泵在使用过程中可能会出现漏气问题,导致泵内气体压力升高,增加泵的负载,从而引发过载停机。
3. 电源与电机故障:电源未接通、保险丝熔断、电源开关损坏、电源故障、电机过载、过热、断路或短路等问题,都可能导致分子泵无法正常工作。
4. 控制系统问题:控制器故障、通信连接问题、启动命令未回复等,都可能导致分子泵无法正常工作。
5. 泵体温度过高:长时间运转后,泵体温度升高,可能是由于散热系统出现问题,如散热风扇故障或通风口堵塞。